明場與暗場 要(yào / yāo)解釋清楚明場檢測與暗場檢測，首先就(jiù)要(yào / yāo)弄明白明場與暗場的(de)區别。明場與暗場多少有點專業術語（黑話）的(de)感覺，通俗點兒講，所謂明場，可以(yǐ)簡單的(de)理解爲(wéi / wèi)背景是(shì)亮的(de)缺陷是(shì)暗的(de)；暗場則相反，背景是(shì)暗的(de)缺陷是(shì)亮的(de)。 明場檢測與暗場檢測 在(zài)半導體晶圓制造環節中，爲(wéi / wèi)提高産品良率、降低生産成本、推進工藝叠代，對晶圓制造過程中缺陷的(de)檢測至關重要(yào / yāo)。根據檢測技術的(de)不(bù)同，缺陷檢測可分爲(wéi / wèi)電子(zǐ)束檢測、光學檢測以(yǐ)及X光量測三種。 再根據光源方式、成像原理的(de)差...
2024-07-15 10:07:51
