曝光機視覺定位系統

曝光機即電子(zǐ)串曝光機，是(shì)集電子(zǐ)光學、機械、真空、電氣、計算機技術等于(yú)一(yī / yì ／yí)體的(de)複雜的(de)半導體加工設備。廣泛應用于(yú)半導體、微電子(zǐ)、生物器件和(hé / huò)納米科技領域。專門用于(yú)FILM黃光制程而(ér)設計制作的(de)設備，系統采用進口平行光源、雙工位抽屜進出(chū)曝光平台交替工作進行FILM濕膜、幹膜曝光。